产品介绍

     珂阳iRMS（Recipe Management Service）产品用于管理和控制半导体制造过程中配方和工艺参数。iRMS通过与其他系统结合，实现配方自动选择、自动加载、自动校验，能够确保配方的完整性，提供全面的配方管理和控制，帮助半导体制造企业实现高效、准确和可追溯的生产过程，提高产品质量和一致性，并满足监管和合规要求。

产品亮点

1.配方采集和参数管理

   配方管理系统提供了上传，编辑和维护配方的功能。用户可以轻松的维护配方，并进行版本控制和审批流程管理

   管理和维护配方相关的各种参数，如工艺参数，设备设置等。用户可以定义和调整参数，并确保其准确性和一致性

2.版本控制和历史记录

   追踪和管理配方的不同版本，并记录配方的历史变更，有助于追溯配方的演变和变更，以及支持质量控制和合规性审计

3.权限和访问控制

   可根据用户角色和权限设置访问控制，已确保只有授权人员可以查看、修改和使用特定的配方和参数。有助于保护敏感信息和确保数据的安全性

4.实时监控和警报

   监控实时生产数据，并于预设的配方和参数进行比较，如果出现异常或偏离，系统可以提供警报和通知，以便及时调整和纠正

5.高可用性和负载平衡

   采用先进的技术架构和严格的质量管理体系 多台服务器之间可以实现负载平衡，自动故障切换

预期效果

1.减少人工干预

   优化工艺流程和调整设备参数，提高生产效率

2.集成其他关键系统

   进行无缝衔接和数据交换，提供实时数据采集和分析功能，监测生产配方的关键参数，及时发现潜在问题，并做出相应的决策和优化措施

3.自动化配方管理

   减少人为失误，改善产品良率

功能特性