产品描述

北京珂阳基于“超级自动化”理念，针对半导体Fab大量跨部门、跨系统协同及流程化的操作, 结合半导体业务流程特性，打造了iFlowMatic平台，提供半导体制造业务流程全自动化解决方案。

平台功能模块丰富，有流程自动化、业务流程管理（BPM）、人工智能与智能分析、流程挖掘与高级分析、数据集成、智能监控与运维等模块。借助低代码开发平台，基于work flow工作流模式，能快速实现半导体业务场景功能对齐、开发及部署功能逻辑，敏捷高效地满足跨部门、跨系统复杂业务场景的自动化流程需求。

iFlowMatic平台采用微服务架构，各服务多节点部署保障高可用，工作流擎选用开源成熟的Camunda，稳定可控。前端用vue3框架，后端基于JDK 17，微服务通讯靠Dubbo。支持PostgreSQL、Oracle、MongoDB等数据库，流程中可通过MQ、Corba、Tibco RV、Http等与外部系统通讯。可在多种硬件环境稳定运行，适配单机、多服务器集群、虚拟化等部署方式。

图1 - iFlowmatic Overview 说明图

核心价值及产品亮点

iFlowMatic 平台核心价值

      作为国内首个面向半导体制造业的业务流程自动化开发平台，已实现制造业务仿人操作、低代码开发、图形可视化、跨系统跨平台操作、执行过程可视化，全方位提升企业系统层面自动化水平。

      目前支持cvAQM, cvOCAP, cvTRC, cvALH等多个核心业务产品，助力半导体制造企业实现机台派工预约、异常处理、机台复机、批次锁定异常处理等关键业务流程的自动化，提高生产效率，降低人力成本与错误风险。

cvAQM FullAuto - 机台派工预约的全流程自动化

核心价值：

配合RTD系统获取最优sorting lot, 配合MES, MCS, EAP系统实现机台派工预约搬运业务流程全自动化，提升泛半导体生产过程中机台派工效率，确保生产有序进行，同时对不同类型Lot 进行有效管理，保障生产流程的连贯性与稳定性。

产品亮点：

●    用户采用最小化Tasks拖拉拽的方式即可编写 Full Auto Job 作业。

●    支持泛半导体各类工艺设备派工业务流程全自动化，覆盖光刻、腔室、炉管、分捡机等设备。

●    实现Production Lot MES内部复杂验证逻辑的自动化确认，包含防呆、测试、Monitor点检，暖片等验证）。

●    对NPW Lot的全生命周期自动化管理，涵盖投片，InUseStart，InUseEnd， Recycle, Downgrade等环节。

图2 - cvAQM WhatNextFixedBuffer job scenario 层级调用列表

图3 - cvAQM WhatNextMain job 流程图

图4 - cvAQM 基于各种不同机台自动化派工类型

cvOCAP - Out of Control Action Plan业务流程自动化

核心价值：

为半导体生产过程中出现的品质异常或工艺参数超出控制范围等情况，提供基于工作流形式的自动化异常处理流程，有效控制异常扩散，保障产品质量，提高生产过程的可靠性。

产品亮点：

●    提供图形化界面进行工作流程建模，设有多种流程节点可对接第三方系统与人工处理，涵盖异常封锁、人工判定、签核审批、异常信息Review、晶圆重量及加量自动处理、Redo Monitor、生成异常历史报告生成等功能。

●    支持自动判定与人工judgement判定流程，通过表单设计器构建多样式表单，用于流程人工节点签核配置。

●    自动连接品质异常判定相关系统，如 MES、SPC、EDC、AMS等。

●    覆盖多种异常处理场景，包括点检异常、SPC异常、检测工艺Review判定、炉管监控片异常、WAT异常处理等。

引入AI不断深入学习，优化智能决策判断，提高判断精准度与异常处理流程效率。

图5 - cvOCAP 异常流程处理流程图

图6 - cvOCAP 签核界面

图7 - cvOCAP 日志管理界面

cvTRC - Auto Tool Recovery机台复机业务流程自动化

核心价值：

简化机台复机流程，减少跨系统操作和人工干预，缩短复机时间，提高设备利用率，保障生产连续性，降低人力成本和错误风险。

产品亮点：

●    实现设备PM宕机处理、PM过程点检、PM后复机自动化，可灵活配置测机步骤。

●    通过工作流执行过程图动态呈现保养任务执行阶段。

●    提供多种报表便于掌握当前设备保养任务执行情况。

●    借鉴国际先进企业实践，节省2-4小时复机时间。

●    引入RPA(Robot processing automation，机器人流程自动化)，替代人完成重复性劳动，降低人工错误风险。

图8 - cvTRC 机台几栋复机流程图

cvALH - Abnormal Lot Handling批次锁定异常处理业务流程自动化

核心价值：

帮助 FAB 工程师排查和定位 Lot 异常锁定原因，实现批次锁定异常处理（Hold Lot）快速处置，节省人力工时，保障生产正常进行。

产品亮点：

●    梳理标准化 Hold Code业务逻辑。

●    基于 Hold Code 与 Alarm 信息定位问题归属部门。

●    集中呈现 SPC、FDC 相关数据帮助排查问题。

图9 - cvALH 业务信息配置界面

功能特性

●    图形化低代码开发：内置Tasks模块，以可视化拖拉拽模式，借助开源成熟的Camunda引擎，满足不同产品复杂业务逻辑开发需求，涵盖多种类型Tasks。

●    多样触发机制：支持Timer、External Event、DB Event Trigger等方式，自动触发作业流程，灵活调度任务与控制流程。

●    丰富的接口通讯：全面支撑与MES, MCS, RTD, EAP等第三方软件交互，支持Tibco RV, Corba, MQ, Http Msg , JMS, Web Services等多种通讯协议，便于持续开发。

●    流程跟踪管理：执行过程可视化追踪，历史可追溯，数据履历入库管理，具备完善的执行节点日志与错误追踪机制。

●    Label分支管理：确保工作流在各节点有效执行Normal & Error 处理分支，保障流程逻辑完整可执行。

●    调试工具灵活：提供手动调试工具，可在流程开发任意阶段验证Task和逻辑。

●    作业层级管理：jobs支持逻辑嵌套，通用逻辑可多层级调用复用，支持层级向上向下钻取。

●    版本管理功能全：完善的Job版本控制，支持版本升级、差异比较和跨环境版本发布。

●    资源锁管理高效：资源锁（Claim & Release）信息实时共享, 跨服务器和job识别、抢占、释放资源，支持人工释放无效锁。

●    业务负载均衡：实现多应用服务器间作业负载均衡，便于异常排查。

●    运维监控强大：对系统外部调用日志以及系统被调用记录进行入库管理，提供独立界面进行查询，可在与外部系统交互异常时快速排查问题。

●    运维，监控与报表：整合日志页面，集成 ELK 平台，支持复杂检索与可视化展示。配套Prometheus监控系统，实现对服务器、应用程序运行状况的多方面监控。提供定制化报表且支持持续开发。